不銹鋼襯底柔性銅銦鎵硒薄膜太陽電池阻擋層制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510794472.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105449010B 公開（公告）日 2018-07-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN105449010B 申請(qǐng)公布日 2018-07-31
分類號(hào) H01L31/0216;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張寧;余新平;張偉;孫哲 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京四方智和科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 北京四方創(chuàng)能光電科技有限公司;北京四方繼保自動(dòng)化股份有限公司
地址 100085 北京市海淀區(qū)上地四街9號(hào)四方大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種不銹鋼襯底柔性銅銦鎵硒薄膜太陽電池絕緣阻擋層制備方法。所述柔性銅銦鎵硒薄膜太陽電池結(jié)構(gòu)包括不銹鋼襯底、阻擋層、背電極、吸收層、緩沖層、窗口層、頂電極和減反射層。其特點(diǎn)在于在可彎曲的柔性不銹鋼襯底上通過磁控濺射方法制備一層或多層絕緣化合物薄膜作為阻擋層。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，一方面可以有效阻擋襯底材料中的某些雜質(zhì)元素對(duì)銅銦鎵硒吸收層的影響，另一方面可以在背電極與柔性襯底之間形成絕緣層，阻礙電流導(dǎo)通。本發(fā)明所述的絕緣阻擋層不僅工藝簡(jiǎn)單、易于控制、成本低廉、生產(chǎn)效率高，而且可以顯著提高銅銦鎵硒吸收層的電學(xué)性能，對(duì)于改善柔性襯底CIGS薄膜電池的均勻性和光電轉(zhuǎn)換效率有明顯效果。