微型集成式氣體傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201922388339.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211263278U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-08-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211263278U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-14 |
| 分類號(hào) | G01N27/00(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 劉瑞 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽芯淮電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京利豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 安徽芯淮電子有限公司 |
| 地址 | 235000安徽省淮北市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)梧桐路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種微型集成式氣體傳感器，其包括相對(duì)設(shè)置的加熱單元和氣體敏感單元，其中，所述氣體敏感單元包括測(cè)試電極和氣體敏感結(jié)構(gòu)，所述氣體敏感結(jié)構(gòu)直接形成在所述測(cè)試電極上；所述加熱單元包括與所述測(cè)試電極相匹配的加熱層，所述加熱層朝向所述氣體敏感結(jié)構(gòu)，且所述加熱層與所述氣體敏感結(jié)構(gòu)無(wú)直接接觸。本實(shí)用新型的氣體傳感器可靠性高，且該氣體傳感器在使用環(huán)境性能要求比較高的情況下可以滿足需求，而且還可以避免多層薄膜結(jié)構(gòu)在高溫下使用造成的熱應(yīng)力和熱膨脹系數(shù)匹配方面產(chǎn)生的問(wèn)題。?? |
