集成式微型振動(dòng)傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201922420285.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN210922827U 公開(kāi)（公告）日 2020-07-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN210922827U 申請(qǐng)公布日 2020-07-03
分類號(hào) G01H11/06 分類 -
發(fā)明人 劉瑞 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽芯淮電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京利豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 安徽芯淮電子有限公司
地址 235000 安徽省淮北市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)梧桐路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種集成式微型振動(dòng)傳感器，其包括第一振動(dòng)敏感單元、第二振動(dòng)敏感單元以及隔離層，所述第一振動(dòng)敏感單元、第二振動(dòng)敏感單元分別設(shè)置在所述隔離層的兩側(cè)，并經(jīng)所述隔離層密封結(jié)合成一體。本實(shí)用新型提供的集成式微型振動(dòng)傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制備工藝簡(jiǎn)便、靈敏度高、性能穩(wěn)定、一致性好、成本低，具有廣闊應(yīng)用前景。