柔性電容式振動(dòng)傳感器及其制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911372282.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111024213B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111024213B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-30 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01H11/06(2006.01)I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 劉瑞 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 安徽芯淮電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京利豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 趙世發(fā) |
| 地址 | 235000安徽省淮北市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)梧桐路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種柔性電容式振動(dòng)傳感器及其制作方法。該柔性電容式振動(dòng)傳感器包括第一振動(dòng)敏感單元、第二振動(dòng)敏感單元以及隔離層，所述第一振動(dòng)敏感單元、第二振動(dòng)敏感單元分別設(shè)置在所述隔離層的兩側(cè)，并經(jīng)所述隔離層密封結(jié)合成一體。本發(fā)明實(shí)施例提供的一種柔性電容式振動(dòng)傳感器，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制備工藝簡(jiǎn)便、靈敏度高、性能穩(wěn)定、一致性好、成本低；以及，本發(fā)明提供的制作工藝可靠性更高，大大提高了柔性振動(dòng)傳感器的靈敏度；而且提高了器件的穩(wěn)定性和良率。?? |
