柔性氣體傳感設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201922392163.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211263279U | 公開（公告）日 | 2020-08-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211263279U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-14 |
| 分類號(hào) | G01N27/00(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 劉瑞 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽芯淮電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京利豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 安徽芯淮電子有限公司 |
| 地址 | 235000安徽省淮北市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)梧桐路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種柔性氣體傳感設(shè)備，其包括柔性敏感測(cè)試單元以及柔性封裝單元，所述柔性封裝單元包括具有透明窗口的柔性蓋板，所述柔性蓋板與所述柔性敏感測(cè)試單元密封結(jié)合形成一封裝腔室，封裝腔室與設(shè)置在柔性蓋板上的至少一個(gè)氣孔連通；柔性敏感測(cè)試單元包括依次疊層設(shè)置在柔性襯底上的絕熱層、加熱層、導(dǎo)熱絕緣層以及氣體敏感結(jié)構(gòu)，氣體敏感結(jié)構(gòu)還與測(cè)試電極電連接；其中，至少所述氣體敏感結(jié)構(gòu)被設(shè)置在所述封裝腔室中。本實(shí)用新型提供的柔性氣體傳感設(shè)備將全印刷工藝與半導(dǎo)體氧化材料相結(jié)合，不需經(jīng)過光刻等工藝，避免了高溫或化學(xué)腐蝕液體對(duì)柔性襯底或器件的損傷。?? |
