一種ITO靶材的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110031669.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102173817B 公開(kāi)（公告）日 2013-05-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN102173817B 申請(qǐng)公布日 2013-05-08
分類號(hào) C04B35/622(2006.01)I;C04B35/64(2006.01)I;C04B35/457(2006.01)I;C04B35/01(2006.01)I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 駱樹(shù)立;王建堂;李慶豐;駱如河;駱如田;駱勝華;駱勝磊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河北鵬達(dá)新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中知法苑知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 常玉明;張?zhí)m海
地址 057250 河北省曲周縣駱莊工業(yè)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種ITO靶材的制備方法，其特征是：采用透射電鏡下觀察粒度在10—100納米的氧化錫粉末和微米級(jí)氧化銦粉末，質(zhì)量比為1∶9；采用濕法混合的方法將氧化錫粉末和氧化銦粉末混合均勻成ITO粉末，溶劑選擇水、無(wú)水乙醇、丙酮或異丙醇；將ITO粉末放入球磨罐中，加入鋼芯尼龍球，再加入溶劑，球磨24小時(shí)，吹干溶劑，過(guò)60目篩，在鋼模具中以50MPa壓強(qiáng)干壓成型，再在280MPa下進(jìn)行冷等靜壓，保壓10分鐘，然后在燒結(jié)爐中純氧氣氣氛下1200-1600℃溫度下進(jìn)行燒結(jié)，保溫2-3小時(shí)。本發(fā)明通過(guò)引入無(wú)團(tuán)聚的粒度分布窄的納米氧化錫，在不降低靶材密度的前提下，降低了ITO靶材的燒結(jié)溫度，進(jìn)而減小靶材的晶粒度，進(jìn)而減少靶材的中毒；同時(shí)可以使用比較廉價(jià)的承燒板或者能夠燒制更大的靶材。