一種ITO靶材的成型方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110031652.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102173816B 公開(kāi)（公告）日 2013-05-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN102173816B 申請(qǐng)公布日 2013-05-08
分類號(hào) C04B35/622(2006.01)I;C04B35/457(2006.01)I;C04B35/01(2006.01)I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 駱樹(shù)立;王建堂;李慶豐;駱如河;駱如田;駱勝華;駱勝磊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河北鵬達(dá)新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中知法苑知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 常玉明;張?zhí)m海
地址 057250 河北省曲周縣駱莊工業(yè)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種ITO靶材的成型方法，其特征是：有下述料漿制備、振動(dòng)注漿、脫模干燥、冷等靜壓、燒結(jié)步驟完成：料漿的原料為共沉淀法制備的ITO粉或分別制備的ITO粉，加去離子水，加適量的分散劑和粘結(jié)劑，攪拌均勻后過(guò)300目篩，制成重量濃度為30-80％的料漿；在注漿的壓力為0.1-3MPa、工作臺(tái)的振動(dòng)頻率為1000-5000Hz下將料漿注入模具中，注漿時(shí)間為10-120分鐘；脫模后的對(duì)坯體干燥，干燥溫度為20-100℃；干燥后的毛坯經(jīng)過(guò)冷等靜壓，壓力范圍100-350MPa；在常壓下純氧氣氛下燒結(jié)，溫度為1450-1650℃，保溫時(shí)間為3-15小時(shí)。本發(fā)明可有效解決大尺寸的ITO靶材的應(yīng)力問(wèn)題和密度不均勻問(wèn)題。