一種硅片連續(xù)式自定位傳輸機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821788005.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209097528U 公開（公告）日 2019-07-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN209097528U 申請(qǐng)公布日 2019-07-12
分類號(hào) B65G13/11;B65G13/06;B65G49/05 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 萬(wàn)喜增;嚴(yán)云;黃笑容;鄭六奎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江中晶新材料研究有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京眾合誠(chéng)成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 韓燕燕
地址 313100 浙江省湖州市長(zhǎng)興縣太湖街道陸匯路59號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片連續(xù)式自定位傳輸機(jī)構(gòu)，包括傳片機(jī)構(gòu)、第一定位機(jī)構(gòu)及第二定位機(jī)構(gòu)，通過(guò)在傳片機(jī)構(gòu)末端分別設(shè)置第一定位機(jī)構(gòu)及第二定位機(jī)構(gòu)，并預(yù)先設(shè)定第一定位機(jī)構(gòu)及第二定位機(jī)構(gòu)所調(diào)整的坐標(biāo)位置，使通過(guò)傳片機(jī)構(gòu)傳送至第一定位機(jī)構(gòu)及第二定位機(jī)構(gòu)處的硅片在傳送過(guò)程中完成三點(diǎn)自定心調(diào)整，實(shí)現(xiàn)硅片自動(dòng)化精準(zhǔn)穩(wěn)定定位，確保硅片的中心與后續(xù)轉(zhuǎn)移吸附機(jī)構(gòu)精確配合，節(jié)省后續(xù)倒角加工前的自調(diào)心步驟，實(shí)現(xiàn)批量硅片連續(xù)式自動(dòng)定位，工藝連續(xù)性好，自動(dòng)化程度高，大大節(jié)省人力，且可通過(guò)調(diào)整第一定位機(jī)構(gòu)及第二定位機(jī)構(gòu)的坐標(biāo)參數(shù)，實(shí)現(xiàn)實(shí)現(xiàn)對(duì)不同尺寸的硅片進(jìn)行定位，滿足工業(yè)生產(chǎn)的多種需要。