一種全自動硅片倒角加工設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821787994.6 申請日 -
公開（公告）號 CN209021793U 公開（公告）日 2019-06-25
申請公布號 CN209021793U 申請公布日 2019-06-25
分類號 B24B9/06（2006.01）I; B24B27/00（2006.01）I; B24B41/00（2006.01）I; B24B49/00（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 萬喜增; 嚴云; 黃笑容; 鄭六奎 申請（專利權(quán)）人 浙江中晶新材料研究有限公司
代理機構(gòu) 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 韓燕燕
地址 313100 浙江省湖州市長興縣太湖街道陸匯路59號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種全自動硅片倒角加工設(shè)備，該全自動硅片倒角加工設(shè)備通過分片上料裝置和傳輸自定心裝置實現(xiàn)堆疊的硅片的單片分片和自定心，之后由抓取裝置將自定心完成的硅片抓取并在硅片轉(zhuǎn)移裝置的移動下實現(xiàn)向倒角裝置上進行放片，并在倒角裝置上實現(xiàn)硅片的倒角后由自動取片裝置進行取片后向硅片收集盒內(nèi)進行硅片的收集，實現(xiàn)一個轉(zhuǎn)移機構(gòu)配合多臺倒角設(shè)備的加工方式，節(jié)約了人力資源，解決倒角設(shè)備中未實現(xiàn)完全自動化、工作效率低下的技術(shù)問題；該全自動硅片倒角加工工藝通過利用硅片分片工序與硅片定位工序，實現(xiàn)硅片的快速單片分片和自定心，并利用硅片運輸和硅片放片，實現(xiàn)硅片運輸至多臺倒角設(shè)備處進行倒角加工。