一種硅片自動(dòng)分片送料裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821788003.6 申請日 -
公開(公告)號 CN209097765U 公開(公告)日 2019-07-12
申請公布號 CN209097765U 申請公布日 2019-07-12
分類號 B65G59/02;B65G47/06 分類 輸送;包裝;貯存;搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 萬喜增;嚴(yán)云;黃笑容;鄭六奎 申請(專利權(quán))人 浙江中晶新材料研究有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京眾合誠成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 韓燕燕
地址 313100 浙江省湖州市長興縣太湖街道陸匯路59號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種硅片自動(dòng)分片送料裝置,包括硅片升降機(jī)構(gòu)、硅片承載機(jī)構(gòu)、發(fā)片卷輪機(jī)構(gòu)及硅片傳送機(jī)構(gòu),硅片升降機(jī)構(gòu)和硅片承載機(jī)構(gòu)通過滑塊連接,實(shí)現(xiàn)硅片承載機(jī)構(gòu)可在豎直方向上做往復(fù)運(yùn)動(dòng),硅片在硅片承載機(jī)構(gòu)上升的過程中進(jìn)行補(bǔ)料,同時(shí)在硅片承載機(jī)構(gòu)正上方設(shè)置發(fā)片卷輪機(jī)構(gòu)將單片硅片分離出來,并在發(fā)片卷輪機(jī)構(gòu)的輸出端設(shè)置硅片傳送機(jī)構(gòu)對分片后的硅片進(jìn)行傳送,實(shí)現(xiàn)硅片的自動(dòng)分片及送料,全過程自動(dòng)化操作,設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊,操作過程連貫順暢,穩(wěn)定性好,解決了現(xiàn)有技術(shù)中的操作麻煩、穩(wěn)定性差、耗時(shí)長、結(jié)構(gòu)復(fù)雜等技術(shù)問題。