一種多工位硅片轉(zhuǎn)移系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821787995.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN209097739U 公開(kāi)（公告）日 2019-07-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN209097739U 申請(qǐng)公布日 2019-07-12
分類號(hào) B65G47/91;B65G49/05 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 萬(wàn)喜增;嚴(yán)云;黃笑容;鄭六奎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江中晶新材料研究有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京眾合誠(chéng)成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 韓燕燕
地址 313100 浙江省湖州市長(zhǎng)興縣太湖街道陸匯路59號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多工位硅片轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，包括傳送機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)及吸附機(jī)構(gòu)，由吸附機(jī)構(gòu)將硅片吸取，由升降機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)吸附機(jī)構(gòu)沿豎直方向運(yùn)動(dòng)，將硅片提起，由旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)硅片做圓周轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)位置轉(zhuǎn)移，由傳送機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)沿水平方向做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，從而將硅片轉(zhuǎn)移到加工工位上進(jìn)行后續(xù)加工，整個(gè)過(guò)程自動(dòng)化操作、設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、傳送過(guò)程流暢快捷，實(shí)現(xiàn)一個(gè)轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)配合多臺(tái)加工工位，將代加工硅片分別傳送至多個(gè)加工工位上，工作效率高，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的傳送流程長(zhǎng)、耗費(fèi)時(shí)間、無(wú)法精準(zhǔn)定位、單個(gè)轉(zhuǎn)移裝置無(wú)法對(duì)接多臺(tái)加工工位、工作效率低下、設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜等問(wèn)題。