一種硅片暫存機(jī)構(gòu)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021688084.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212570951U | 公開（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申請公布號(hào) | CN212570951U | 申請公布日 | 2021-02-19 |
| 分類號(hào) | H01L21/677(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 蔣旭東;張弛;王志剛;王四海;蔣成斌;顧建 | 申請（專利權(quán)）人 | 南京卓勝自動(dòng)化設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 蘇虹 |
| 地址 | 210000江蘇省南京市江寧區(qū)將軍大道219號(hào)太平工業(yè)園 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種硅片暫存機(jī)構(gòu)，包括升降機(jī)構(gòu)和沿水平方向依次平行設(shè)置的若干暫存框，暫存框包括左右相對設(shè)置的暫存板，暫存板的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有沿其高度方向的若干組用于支撐硅片的暫存柱，暫存框的前后側(cè)面貫通以使輸送機(jī)通過，升降機(jī)構(gòu)與暫存框相連并帶動(dòng)暫存框上升和下降。本實(shí)用新型的硅片暫存機(jī)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)多條輸送機(jī)同時(shí)使用，采用一個(gè)升降機(jī)構(gòu)即可實(shí)現(xiàn)多組暫存框的升降，大幅提高了工作效率。?? |
