硅片料盒裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111053400.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113782472A 公開（公告）日 2021-12-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113782472A 申請(qǐng)公布日 2021-12-10
分類號(hào) H01L21/673（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王志剛;蔣旭東;張弛;顧建;蔣成斌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京卓勝自動(dòng)化設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張弛
地址 210000江蘇省南京市雨花臺(tái)區(qū)龍藏大道9號(hào)一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種硅片料盒裝置，包括底板和設(shè)于底板上的多個(gè)托盤，還包括多個(gè)擋邊機(jī)構(gòu)，該擋邊機(jī)構(gòu)分別位于托盤的四周，每一擋邊機(jī)構(gòu)包括一下導(dǎo)柱、一上導(dǎo)柱以及一傳送帶；其中，每一下導(dǎo)柱設(shè)于底板上且朝上延伸，上導(dǎo)柱的下端與下導(dǎo)柱的上端滑配連接，且上導(dǎo)柱的延伸方向與下導(dǎo)柱的延伸方向一致；下導(dǎo)柱的下端設(shè)有一第一帶輪，上導(dǎo)柱的上端設(shè)有一第二帶輪，每一傳送帶與第一帶輪和第二帶輪同向配合；托盤具有與傳送帶相平行的側(cè)邊，傳送帶與托盤的側(cè)邊鎖附連接以同步運(yùn)行。