一種晶圓傳輸裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023343548.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214797338U 公開（公告）日 2021-11-19
申請公布號 CN214797338U 申請公布日 2021-11-19
分類號 H01L21/66（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張暉 申請（專利權）人 精技電子（南通）有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 226000江蘇省南通市經濟技術開發(fā)區(qū)中央路62號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種晶圓傳輸裝置，包括上料裝置、下料裝置、探針測試儀以及位于上料裝置和下料裝置之間的生產線，上料基座上設置有傳輸裝置；傳輸裝置包括輸入端伸縮傳輸裝置、輸入端主傳輸裝置以及輸入端660mm傳輸裝置。下料裝置包括下料基座；下料基座一側同樣設置有升降機構；所述下料基座上設置有輸出端主傳輸裝置；所述輸出端主傳輸裝置一側設置有輸出端660mm傳輸裝置；所述輸出端660mm傳輸裝置一側連接有升降機構；所述輸出端660mm傳輸裝置內設置輸出端彈起裝置。本實用新型通過設置檢測裝置，進行自我檢測，能夠減少晶圓不良率的產生；同時設置有通過工業(yè)相機自動獲取晶圓的尺寸；對于傳統(tǒng)設備，該晶圓傳輸設備具有高速度、高精度、高自動化的特點。