一種晶圓參數(shù)的修調(diào)方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510979581.2 申請日 -
公開（公告）號 CN105551993A 公開（公告）日 2016-05-04
申請公布號 CN105551993A 申請公布日 2016-05-04
分類號 H01L21/66(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐四九;鄭東來 申請（專利權(quán)）人 上海威伏半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海精晟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海威伏半導(dǎo)體有限公司
地址 201703 上海市青浦區(qū)崧秀路555號3幢1層G區(qū)134室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓參數(shù)的修調(diào)方法及裝置，所述方法包括：根據(jù)晶圓參數(shù)值和晶圓參數(shù)檔位值擬合線性公式；測量第N個實(shí)際晶圓參數(shù)值；根據(jù)線性公式、第N個實(shí)際晶圓參數(shù)值、第N個晶圓參數(shù)檔位值及目標(biāo)晶圓參數(shù)值確定第N+1個晶圓參數(shù)檔位值；測量第N+1個實(shí)際晶圓參數(shù)值；根據(jù)線性公式、第N+1個實(shí)際晶圓參數(shù)值、第N+1個晶圓參數(shù)檔位值及目標(biāo)晶圓參數(shù)值確定第N+2個晶圓參數(shù)檔位值；測量第N+2個實(shí)際晶圓參數(shù)值；確定第N+2個實(shí)際晶圓參數(shù)值與目標(biāo)晶圓參數(shù)值的差值的絕對值是否小于第一預(yù)設(shè)值；在小于第一預(yù)設(shè)值時，將第N+2個晶圓參數(shù)檔位值四舍五入后的值確定為目標(biāo)晶圓參數(shù)檔位值。本發(fā)明的修調(diào)時間端，提高了修調(diào)效率。