一種晶圓測(cè)試用AMP板卡

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201521080789.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN205229404U 公開（公告）日 2016-05-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN205229404U 申請(qǐng)公布日 2016-05-11
分類號(hào) G01R31/26(2014.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 朱琦亮;鄭東來;徐四九 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海威伏半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海威伏半導(dǎo)體有限公司
地址 201703 上海市青浦區(qū)崧秀路555號(hào)3幢1層G區(qū)134室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓測(cè)試用AMP板卡，所述晶圓包括若干個(gè)第一熔絲，所述晶圓測(cè)試用AMP板卡包括：電源單元、主控芯片、若干個(gè)供電切換單元、以及與若干個(gè)供電切換單元一一對(duì)應(yīng)連接的若干個(gè)探針控制單元；所述主控芯片分別與所述電源單元、每個(gè)所述供電切換單元和每個(gè)所述探針控制單元連接，所述電源單元還與每個(gè)所述供電切換單元連接，所述探針控制單元包括第一繼電器和第二熔絲，所述第一繼電器通過所述第二熔絲與所述供電切換單元連接，所述第一繼電器與對(duì)應(yīng)的探針連接，所述探針與對(duì)應(yīng)的所述第一熔絲連接。本實(shí)用新型的電路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，使用效果好，提高了測(cè)試效率，且能夠保護(hù)探針控制單元。