工模具表面復(fù)合氮化物涂層制備工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710305268.X 申請日 -
公開（公告）號 CN106967977B 公開（公告）日 2019-03-15
申請公布號 CN106967977B 申請公布日 2019-03-15
分類號 C23C28/00（2006.01）I; C23C14/14（2006.01）I; C23C14/06（2006.01）I; C23C14/35（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙海波; 劉亞; 鮮廣; 梁紅櫻; 但秦 申請（專利權(quán)）人 成都真銳科技涂層技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都虹橋?qū)＠聞?wù)所（普通合伙） 代理人 成都真銳科技涂層技術(shù)有限公司; 成都天科精密制造有限責(zé)任公司; 四川大學(xué)
地址 610052 四川省成都市成華區(qū)東三環(huán)路二段龍?zhí)豆I(yè)園成都真銳科技涂層技術(shù)有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種工模具表面復(fù)合氮化物涂層制備工藝，屬于微納米涂層技術(shù)領(lǐng)域，該工藝是在鍍膜時，采用了真空離子蒸發(fā)鍍與磁控濺射離子鍍相結(jié)合的二元蒸發(fā)源技術(shù)；在N2與Ar的混合氣氛下，通過電子束蒸發(fā)源蒸發(fā)Ti元素，形成傳統(tǒng)的TiN薄膜，在沉積形成TiN膜的同時，通過磁控濺射源植入Me元素，在工模具表面鍍制(Ti，Me)N層；所述Me為Ti、Al、Cr、Si中的至少一種。本發(fā)明工藝能夠提高工模具的綜合性能。