一種復(fù)合石英坩堝的制備方法及復(fù)合石英坩堝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010275959.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113510824B 公開（公告）日 2022-07-05
申請公布號 CN113510824B 申請公布日 2022-07-05
分類號 C30B29/06（2006.01）I;C30B15/10（2006.01）I;B28B1/20（2006.01）I;B28B1/00（2006.01）I;B28B7/44（2006.01）I;B28B11/04（2006.01）I;C04B35/66（2006.01）I;C04B35/14（2006.01）I;C04B35/657（2006.01）I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 韓東;郭華盈;劉攀;劉陽;王征;周俊祥 申請（專利權(quán)）人 隆基綠能科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京潤澤恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 710100陜西省西安市長安區(qū)航天中路388號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供的一種復(fù)合石英坩堝的制備方法及復(fù)合石英坩堝，包括：沿坩堝模具的內(nèi)側(cè)面依次設(shè)置中位粒徑依次減小的第一石英砂層、第二石英砂層和第三石英砂層，得到復(fù)合石英坩堝的料胚；對料胚進行電弧熔制以得到復(fù)合石英坩堝，復(fù)合石英坩堝包括由外側(cè)面至內(nèi)側(cè)面氣泡含量依次減小的氣泡層、第一透明層和第二透明層。本發(fā)明中，由于料胚中第一石英砂層至第三石英砂層的中位粒徑依次減小，因而利用所述料胚制備得到的復(fù)合石英坩堝中，氣泡層至第二透明層的氣泡含量依次減小，從而有效的降低了石英坩堝內(nèi)側(cè)面近表層的微氣泡含量，使得在利用石英坩堝制備單晶硅的過程中，減小了微氣泡發(fā)生破裂對正在生長的單晶硅的影響，提高了單晶硅的品質(zhì)和成晶率。