一種復(fù)合石英坩堝的制備方法及復(fù)合石英坩堝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010275959.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN113510824B 公開(kāi)(公告)日 2022-07-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN113510824B 申請(qǐng)公布日 2022-07-05
分類號(hào) C30B29/06(2006.01)I;C30B15/10(2006.01)I;B28B1/20(2006.01)I;B28B1/00(2006.01)I;B28B7/44(2006.01)I;B28B11/04(2006.01)I;C04B35/66(2006.01)I;C04B35/14(2006.01)I;C04B35/657(2006.01)I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 韓東;郭華盈;劉攀;劉陽(yáng);王征;周俊祥 申請(qǐng)(專利權(quán))人 隆基綠能科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京潤(rùn)澤恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 710100陜西省西安市長(zhǎng)安區(qū)航天中路388號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供的一種復(fù)合石英坩堝的制備方法及復(fù)合石英坩堝,包括:沿坩堝模具的內(nèi)側(cè)面依次設(shè)置中位粒徑依次減小的第一石英砂層、第二石英砂層和第三石英砂層,得到復(fù)合石英坩堝的料胚;對(duì)料胚進(jìn)行電弧熔制以得到復(fù)合石英坩堝,復(fù)合石英坩堝包括由外側(cè)面至內(nèi)側(cè)面氣泡含量依次減小的氣泡層、第一透明層和第二透明層。本發(fā)明中,由于料胚中第一石英砂層至第三石英砂層的中位粒徑依次減小,因而利用所述料胚制備得到的復(fù)合石英坩堝中,氣泡層至第二透明層的氣泡含量依次減小,從而有效的降低了石英坩堝內(nèi)側(cè)面近表層的微氣泡含量,使得在利用石英坩堝制備單晶硅的過(guò)程中,減小了微氣泡發(fā)生破裂對(duì)正在生長(zhǎng)的單晶硅的影響,提高了單晶硅的品質(zhì)和成晶率。