一種在線監(jiān)測OVD疏松體密度的設(shè)備及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110174684.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112945797A 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN112945797A 申請公布日 2021-06-11
分類號 G01N9/02;B25B11/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 沈小平;楊意;朱陳明;崔德運;梁偉;何炳;王檣 申請（專利權(quán)）人 江蘇通鼎光棒有限公司
代理機構(gòu) 天津合正知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李成運;石熠
地址 215233 江蘇省蘇州市吳江區(qū)震澤鎮(zhèn)八都小平大道8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種在線監(jiān)測OVD疏松體密度的設(shè)備及方法，包括用來沉積疏松體的沉積腔，所述沉積腔內(nèi)設(shè)有水平放置芯棒的夾具，夾具上方與芯棒平行方向安裝有激光掃描測徑系統(tǒng)，夾具下方安裝有噴燈平臺；所述激光掃描測徑系統(tǒng)設(shè)有測徑的激光裝置；所述夾具內(nèi)設(shè)有稱重裝置，所述控制器通過控制激光裝置左右移動，每間隔固定距離進行直徑測量與記錄，直至完成對整個疏松體的直徑連續(xù)測量，獲得一組疏松體直徑的數(shù)據(jù)，通過該組數(shù)據(jù)以及稱重裝置的數(shù)據(jù)，計算當前階段疏松體密度，根據(jù)密度實時調(diào)整SiO2顆粒的形成。本發(fā)明在沉積過程中在線監(jiān)測疏松體的直徑，根據(jù)密度實時調(diào)整SiO2顆粒的形成，及時控制疏松體的密度，從而制備大尺寸預(yù)制棒。