一種適用于過(guò)濾電子級(jí)磷酸的濾料

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410544008.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105561649A 公開(kāi)（公告）日 2016-05-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN105561649A 申請(qǐng)公布日 2016-05-11
分類(lèi)號(hào) B01D29/05(2006.01)I;B01D29/58(2006.01)I;C01B25/234(2006.01)I 分類(lèi) 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 王立平;王國(guó)強(qiáng);王東輝;耿瑞娟;張穎 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 洛陽(yáng)盛潔環(huán)?？萍加邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 洛陽(yáng)市凱旋專(zhuān)利事務(wù)所 代理人 洛陽(yáng)盛潔環(huán)?？萍加邢薰?/td>
地址 471000 河南省洛陽(yáng)市高新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)青城路北端
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種適用于過(guò)濾電子級(jí)磷酸的濾料，其特征是：包括兩層在PTFE濾布，所述兩層PTFE濾布上設(shè)置圓孔，所述兩層PTFE濾布上圓孔之間設(shè)置有PTFE圓形通道，所述PTFE圓形通道的長(zhǎng)度為8~12mm，所述PTFE濾布為高縝密基布，所述PTFE濾布的內(nèi)表面覆有Gore膜，所述PTFE濾布的外表面附有PTFE膜。本發(fā)明采用Gore膜對(duì)磷酸進(jìn)行過(guò)濾,通過(guò)與PTFE濾布的復(fù)合使用，代替通常使用的化纖濾布進(jìn)行過(guò)濾,可以控制微粒要求0.2μm以下，滿(mǎn)足工廠(chǎng)適用于大規(guī)模集成電路加工工藝，用于小于0.09-0.20um線(xiàn)寬電路蝕刻。