一種長條型鉬靶的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010536764.8 申請日 -
公開（公告）號 CN111647860B 公開（公告）日 2022-06-03
申請公布號 CN111647860B 申請公布日 2022-06-03
分類號 C23C14/35（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;B22F3/04（2006.01）I;B22F3/10（2006.01）I;B22F3/20（2006.01）I;B22F3/24（2006.01）I;B22F5/00（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 方宏;孫虎民;岳燦甫 申請（專利權(quán)）人 豐聯(lián)科光電（洛陽）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽公信知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 471000河南省洛陽市中國（河南）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)洛陽片區(qū)高新河洛路269號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種長條型鉬靶的制備方法，包括以下步驟：步驟一：選取適量的鉬粉，進(jìn)行膠套裝粉，將裝過粉的膠套進(jìn)行冷等靜壓成型，得到坯體；步驟二：將步驟一得到的坯體在氫氣保護(hù)氣氛下進(jìn)行燒結(jié)，得到燒結(jié)坯；步驟三：將步驟二得到的燒結(jié)坯先在氫氣保護(hù)下進(jìn)行加熱，然后再進(jìn)行熱擠壓，之后退火、校平；步驟四：將步驟三處理后的產(chǎn)品進(jìn)行磨削等機(jī)加工，得到最終所需尺寸的鉬靶材產(chǎn)品，本專利工藝步驟簡單，制備的長條鉬濺射靶材純度、相對密度、晶粒度均滿足TFT?LCD顯示鍍膜領(lǐng)域使用需求，且生產(chǎn)成本低，產(chǎn)品尺寸寬泛，便于工業(yè)化批量生產(chǎn)。