一種長(zhǎng)條型鉬靶的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010536764.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111647860B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111647860B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-03 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/35（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;B22F3/04（2006.01）I;B22F3/10（2006.01）I;B22F3/20（2006.01）I;B22F3/24（2006.01）I;B22F5/00（2006.01）I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 方宏;孫虎民;岳燦甫 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 豐聯(lián)科光電（洛陽(yáng)）股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 洛陽(yáng)公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 471000河南省洛陽(yáng)市中國(guó)（河南）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)洛陽(yáng)片區(qū)高新河洛路269號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種長(zhǎng)條型鉬靶的制備方法，包括以下步驟：步驟一：選取適量的鉬粉，進(jìn)行膠套裝粉，將裝過(guò)粉的膠套進(jìn)行冷等靜壓成型，得到坯體；步驟二：將步驟一得到的坯體在氫氣保護(hù)氣氛下進(jìn)行燒結(jié)，得到燒結(jié)坯；步驟三：將步驟二得到的燒結(jié)坯先在氫氣保護(hù)下進(jìn)行加熱，然后再進(jìn)行熱擠壓，之后退火、校平；步驟四：將步驟三處理后的產(chǎn)品進(jìn)行磨削等機(jī)加工，得到最終所需尺寸的鉬靶材產(chǎn)品，本專(zhuān)利工藝步驟簡(jiǎn)單，制備的長(zhǎng)條鉬濺射靶材純度、相對(duì)密度、晶粒度均滿(mǎn)足TFT?LCD顯示鍍膜領(lǐng)域使用需求，且生產(chǎn)成本低，產(chǎn)品尺寸寬泛，便于工業(yè)化批量生產(chǎn)。 |
