一種鈮合金濺射靶材及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110807705.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113584366A 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號 CN113584366A 申請公布日 2021-11-02
分類號 C22C27/02（2006.01）I;C22C14/00（2006.01）I;C22C1/04（2006.01）I;B22F3/04（2006.01）I;B22F3/15（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;B22F3/18（2006.01）I;B22F3/24（2006.01）I;B22F3/093（2006.01）I;B22F1/00（2006.01）I 分類 冶金；黑色或有色金屬合金；合金或有色金屬的處理;
發(fā)明人 方宏;張雪鳳;孫虎民 申請（專利權(quán)）人 豐聯(lián)科光電（洛陽）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽公信知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 宋晨煒
地址 471000河南省洛陽市中國（河南）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)洛陽片區(qū)高新河洛路269號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種鈮合金濺射靶材及其制備方法，鈮合金濺射靶材中含鈮元素40~80份、鈦元素20~60份；鈮合金濺射靶材的制備方法為：將鈮粉、鈦粉、活性碳粉在保護(hù)氣體作用下充分混合均勻得到混合粉末；然后將混合粉末裝入膠套內(nèi)，進(jìn)行冷等靜壓成型，得到坯體；之后將坯體裝入包套并進(jìn)行真空除氣，對除氣后的包套進(jìn)行熱等靜壓處理，得到燒結(jié)坯；將燒結(jié)坯在保護(hù)氣氛下加熱，然后熱軋、校平、退火，得到鈮合金板坯；最后對鈮合金板坯進(jìn)行磨削加工，即得到鈮合金濺射靶材。采用該方法生產(chǎn)的鈮合金濺射靶材，純度高，晶粒細(xì)小，可以用于制作在TFT?LCD制程中與銅膜層配套使用的過渡層材料，在耐蝕性、熱穩(wěn)定性等方面與銅膜層具有良好的匹配性，改善TFT?LCD制程中的不良。