一種鉬合金濺射靶材的制備工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111563484.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114293160A 公開（公告）日 2022-04-08
申請公布號 CN114293160A 申請公布日 2022-04-08
分類號 C23C14/34（2006.01）I;B22F5/00（2006.01）I;C22C27/04（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張雪鳳;李帥方;方宏;陳亞光;寧來元;郭雅俊 申請（專利權(quán)）人 豐聯(lián)科光電（洛陽）股份有限公司
代理機構(gòu) 廣東眾達律師事務(wù)所 代理人 張雪華
地址 471000河南省洛陽市中國（河南）自由貿(mào)易試驗區(qū)洛陽片區(qū)高新河洛路269號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于高溫難熔金屬靶材制備領(lǐng)域，具體涉及一種鉬合金濺射靶材的制備工藝，本發(fā)明采用粉末冶金方法制備，靶材所用原料包含合計原子百分比0.5％??40％的Ga、Ni、Nd元素組中的至少一種元素和原子比0.5％??40％的Ti作為摻雜金屬，余量為Mo和不可避免的雜質(zhì)；本發(fā)明經(jīng)過原料配比、原料混合、膠套裝粉定型、冷等靜壓作業(yè)、熱等靜壓作業(yè)、熱軋作業(yè)和機加工作業(yè)，得到最終所需產(chǎn)品尺寸；本發(fā)明工藝步驟簡單，操作便捷，制備的鉬合金濺射靶材耐氧化性、耐濕性、與PR膠的粘合力等各項技術(shù)指標(biāo)優(yōu)秀，可滿足高端電子產(chǎn)品鍍膜領(lǐng)域使用需求，且生產(chǎn)成本低，產(chǎn)品尺寸寬泛，便于工業(yè)化批量生產(chǎn)。