一種坩堝內(nèi)材料質(zhì)量的在線測量裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910574200.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112146730A 公開（公告）日 2020-12-29
申請公布號 CN112146730A 申請公布日 2020-12-29
分類號 G01G7/02(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李強;張明月;徐義 申請（專利權(quán)）人 北京頂榮光伏科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)榮昌東街7號院6號樓3001室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種坩堝內(nèi)材料質(zhì)量的在線測量裝置和方法，包括：從內(nèi)向外依次設(shè)置的坩堝、工藝層、隔離層和殼體，設(shè)于坩堝與工藝層上的滑動機構(gòu)、設(shè)于坩堝底部的限位塊，位于限位塊下方的隔離機構(gòu)、磁力部、位置傳感器和測量機構(gòu)。磁力部的電磁鐵與永磁體之間產(chǎn)生相斥的磁力，推動坩堝及與其固定連接的部件向上滑動，在位置傳感器檢測到坩堝的位置改變時，坩堝及與其固定連接的部件、磁力部均受力平衡，獲取彈簧形變量，則可確定坩堝及與其固定連接的部件的重力，從而可在線測量坩堝及其內(nèi)部材料的質(zhì)量，實現(xiàn)在不進行停機且不破壞密閉環(huán)境的情況下，在線監(jiān)控蒸發(fā)源的材料剩余量，為設(shè)備生產(chǎn)計劃和工藝調(diào)試提供數(shù)據(jù)依據(jù)，提高生產(chǎn)效率。??