一種薄膜太陽能電池的制備方法及其制備裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811004524.2 申請日 -
公開（公告）號 CN110931591B 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN110931591B 申請公布日 2021-07-13
分類號 H01L31/054;H01L31/0445;H01L31/0216;H01L31/0236 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 白安琪 申請（專利權(quán)）人 北京頂榮光伏科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華夏泰和知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李雪
地址 518000 廣東省深圳市前海深港合作區(qū)前灣一路1號A棟201室（入駐深圳市前海商務(wù)秘書有限公司）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種薄膜太陽能電池的制備方法及其制備裝置。該制備方法包括在薄膜太陽能電池的窗口層表面利用電化學(xué)沉積法制備納米結(jié)構(gòu)陣列層。該制備裝置包括儲液池，儲液池內(nèi)存儲有電解液；電池傳遞裝置，用于將薄膜太陽能電池以窗口層朝下并浸潤在電解液中的狀態(tài)下以預(yù)定的速度穿過儲液池；電化學(xué)工作站，電化學(xué)工作站位于儲液池的上方。本發(fā)明通過卷對卷式電化學(xué)沉積工藝在薄膜太陽能電池的窗口層制備納米結(jié)構(gòu)陣列，利用亞波長尺寸的納米結(jié)構(gòu)形成蛾眼效應(yīng)，在窗口層和空氣界面形成漸變折射率，有效抑制電池表面入射光的反射，增大光吸收，提高薄膜太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率；同時(shí)卷對卷式的工藝流程可以直接整合到現(xiàn)有產(chǎn)線中，實(shí)現(xiàn)在線連續(xù)生產(chǎn)。