一種用蒸鍍法制備氧化亞硅的設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123253027.6 申請日 -
公開（公告）號 CN216712224U 公開（公告）日 2022-06-10
申請公布號 CN216712224U 申請公布日 2022-06-10
分類號 C23C14/26（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 安學(xué)會;程進(jìn)輝;張鵬;李迎春;高光平;倪狄 申請（專利權(quán)）人 上海煜志科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海裕創(chuàng)慧成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 201815上海市嘉定區(qū)興文路885號6幢1層D區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種用蒸鍍法制備氧化亞硅的設(shè)備，包括：在用蒸鍍法制備氧化亞硅的設(shè)備的外側(cè)設(shè)置腔體；在腔體的內(nèi)部通過石墨棒固定錘，將內(nèi)爐膛懸空固定在腔體的內(nèi)部；在內(nèi)爐膛的內(nèi)設(shè)置石墨桶；采用真空狀態(tài)下，進(jìn)行蒸鍍，提高其生產(chǎn)效率；同時，采用了石墨桶，由于石墨桶的石墨發(fā)熱體為面發(fā)熱，能產(chǎn)生更加均勻熱量，使得石墨箱體內(nèi)的溫度過渡更加均勻。有利于氧化亞硅的高純度凝結(jié)，提升生產(chǎn)效率。同時采用石墨作為箱體材料，受熱應(yīng)力能力強(qiáng)，不容易破裂。解決了目前氧化亞硅生產(chǎn)裝置由可抽真空的氧化鋁陶瓷耐火管組成，存在著生產(chǎn)效率低、反應(yīng)管極容易破裂等缺點的技術(shù)問題。