耐磨耐腐蝕不銹鋼齒輪及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110167211.0 申請日 -
公開（公告）號 CN102268646A 公開（公告）日 2011-12-07
申請公布號 CN102268646A 申請公布日 2011-12-07
分類號 C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李維民;戚祖強;趙艷;郭愛青 申請（專利權(quán)）人 深圳開發(fā)磁記錄有限公司
代理機構(gòu) 深圳市隆天聯(lián)鼎知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 周惠來
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)彩田路7006號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種耐磨耐腐蝕不銹鋼齒輪及其制造方法，該制造方法包括采用不銹鋼材質(zhì)制造出齒輪的主體的過程，還包括在該齒輪的主體表面進行真空電弧離子鍍CrN層的過程，該CrN層的厚度為4-19μm、表面硬度為1400-2300HV。該齒輪包括不銹鋼材質(zhì)的主體和設置在該主體表面的Cr過渡層、CrN層，該Cr過渡層的厚度為200-1000nm。本發(fā)明可以提高化學機械拋光設備的中心齒輪的耐蝕性及耐磨性，增強其使用壽命，從而降低化學機械拋光工藝的成本。