基于MEMS微鏡的三維掃描激光雷達(dá)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810927949.4 申請日 -
公開（公告）號 CN108983197B 公開（公告）日 2020-01-24
申請公布號 CN108983197B 申請公布日 2020-01-24
分類號 G01S7/481 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張石;李亞鋒;魯佶 申請（專利權(quán)）人 武漢煜煒光學(xué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市六加知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳煜煒光學(xué)科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道長源社區(qū)學(xué)苑大道1001號南山智園C1棟901
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于激光雷達(dá)技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種基于MEMS微鏡的三維掃描激光雷達(dá)，包括發(fā)射激光器、準(zhǔn)直光學(xué)元件、MEMS微鏡陣列及探測器；所述發(fā)射激光器發(fā)出的探測激光信號通過準(zhǔn)直光學(xué)元件準(zhǔn)直至所述MEMS微鏡陣列，經(jīng)所述MEMS微鏡陣列發(fā)射至探測目標(biāo)；探測目標(biāo)反射的探測激光信號接收至所述探測器；MEMS微鏡陣列包括多個小微鏡單元，多個小微鏡單元呈二維陣列布置，所有小微鏡單元均可在三維方向旋轉(zhuǎn)。將單個小尺寸的MEMS微鏡替換為大尺寸二維MEMS微鏡陣列的設(shè)計(jì)，可解決MEMS微鏡在大尺寸光斑激光雷達(dá)的應(yīng)用限制問題，有助于實(shí)現(xiàn)激光雷達(dá)的遠(yuǎn)距離探測。