晶片加工機(jī)臺(tái)的基座結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020461829.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211320063U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-08-21 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211320063U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-21 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67(2006.01)I;H01L33/48(2010.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 山本明;高志堅(jiān);韓曉慿 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 捷姆富（浙江）光電有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州中利知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 盧海龍 |
| 地址 | 314408浙江省嘉興市海寧市長(zhǎng)安鎮(zhèn)（高新區(qū)）新潮路東側(cè)、春潮路北側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及晶片加工領(lǐng)域，且公開(kāi)了晶片加工機(jī)臺(tái)的基座結(jié)構(gòu)，包括基座底座，基座底座為長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)，基座底座的上表面固定安裝有支撐柱，支撐柱共有四組，四組支撐柱分別位于基座底座的上表面四角位置，支撐柱的上表面固定安裝有中層基座，中層基座的厚度是基座底座厚度的一半，基座底座的上表面固定安裝有減震桿，減震桿共有九組，九組減震桿以三乘三的矩陣排列在基座底座的上表面中間位置，減震桿為圓柱體結(jié)構(gòu)，減震桿的外圓處均套接有第一彈簧。本實(shí)用新型中，能夠通過(guò)旋轉(zhuǎn)微調(diào)螺絲對(duì)晶片加工機(jī)臺(tái)進(jìn)行高度校準(zhǔn)，達(dá)到了啟動(dòng)晶片加工機(jī)臺(tái)時(shí)晶片加工機(jī)臺(tái)的水平高度絕對(duì)平穩(wěn)，降低了晶片加工機(jī)臺(tái)在生產(chǎn)高精度晶片元器件時(shí)的誤差。?? |
