一種位錯(cuò)檢測(cè)系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011411979.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112557402A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-03-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112557402A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-26 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01N21/88(2006.01)I;G01N1/32(2006.01)I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 婁艷芳;劉春俊;彭同華;王波;趙寧;楊建;張平;鄒宇;楊帆 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北京天科合達(dá)新材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 駱宗力 |
| 地址 | 102600北京市大興區(qū)中關(guān)村科技園區(qū)大興生物醫(yī)藥產(chǎn)業(yè)基地天榮大街9號(hào)2幢301室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種位錯(cuò)檢測(cè)系統(tǒng)，所述位錯(cuò)檢測(cè)系統(tǒng)采用對(duì)焦模塊按照預(yù)設(shè)路徑向待測(cè)樣品出射探測(cè)光線，并接收所述待測(cè)樣品反射的所述探測(cè)光線，并根據(jù)接收的所述探測(cè)光線形成探測(cè)圖像，然后利用數(shù)據(jù)處理模塊基于圖像處理技術(shù)對(duì)所述待測(cè)圖像進(jìn)行自動(dòng)識(shí)別，以獲取包括所述待測(cè)圖像中包括的位錯(cuò)信息，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)樣品的位錯(cuò)信息進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)的目的，有利于提高對(duì)于待測(cè)樣品的位錯(cuò)信息的檢測(cè)效率，并且相較于人工檢測(cè)位錯(cuò)的方法可以較為容易的增加對(duì)于待測(cè)樣品的采集點(diǎn)數(shù)量，有利于提高位錯(cuò)密度的估算精度。?? |
