一種位錯檢測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011411979.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112557402A 公開（公告）日 2021-03-26
申請公布號 CN112557402A 申請公布日 2021-03-26
分類號 G01N21/88(2006.01)I;G01N1/32(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 婁艷芳;劉春俊;彭同華;王波;趙寧;楊建;張平;鄒宇;楊帆 申請（專利權(quán)）人 北京天科合達(dá)新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 駱宗力
地址 102600北京市大興區(qū)中關(guān)村科技園區(qū)大興生物醫(yī)藥產(chǎn)業(yè)基地天榮大街9號2幢301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種位錯檢測系統(tǒng)，所述位錯檢測系統(tǒng)采用對焦模塊按照預(yù)設(shè)路徑向待測樣品出射探測光線，并接收所述待測樣品反射的所述探測光線，并根據(jù)接收的所述探測光線形成探測圖像，然后利用數(shù)據(jù)處理模塊基于圖像處理技術(shù)對所述待測圖像進(jìn)行自動識別，以獲取包括所述待測圖像中包括的位錯信息，從而實(shí)現(xiàn)對待測樣品的位錯信息進(jìn)行自動檢測的目的，有利于提高對于待測樣品的位錯信息的檢測效率，并且相較于人工檢測位錯的方法可以較為容易的增加對于待測樣品的采集點(diǎn)數(shù)量，有利于提高位錯密度的估算精度。??