一種半導體制造設備和工藝的智能控制系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810270121.6 申請日 -
公開（公告）號 CN108470699B 公開（公告）日 2019-12-06
申請公布號 CN108470699B 申請公布日 2019-12-06
分類號 H01L21/67（2006.01）; G06K9/62（2006.01） 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李健斌 申請（專利權）人 新沂市瓦窯工業(yè)園區(qū)有限公司
代理機構 北京華識知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 喬浩剛
地址 221400 江蘇省徐州市新沂市瓦窯鎮(zhèn)政通路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種半導體制造設備和工藝的智能控制系統(tǒng)，包括數(shù)據(jù)預處理單元、離群點檢測單元、支持向量機訓練單元、智能監(jiān)控單元和持續(xù)學習單元；其中數(shù)據(jù)預處理單元包括預處理模塊和聚類處理模塊，預處理模塊用于對半導體制造設備和工藝采集的數(shù)據(jù)采集的數(shù)據(jù)進行預處理，聚類處理模塊通過全局K?均值聚類算法對預處理模塊預處理后的數(shù)據(jù)進行聚類處理；離群點檢測單元對聚類處理后的數(shù)據(jù)進行離群點檢測，得到離群點集。