一種PECVD系統(tǒng)的玻璃限位裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420567958.4 申請日 -
公開（公告）號 CN204144232U 公開（公告）日 2015-02-04
申請公布號 CN204144232U 申請公布日 2015-02-04
分類號 H01L21/68(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄢開均;王建強;任適;汪濤 申請（專利權(quán)）人 四川漢能光伏有限公司
代理機構(gòu) 北京天奇智新知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 郭霞
地址 610200 四川省成都市雙流縣西航港街道長城路一段二號創(chuàng)業(yè)中心大廈101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種PECVD系統(tǒng)的玻璃限位裝置，包括卡片器本體，所述卡片器本體設(shè)置有電極板卡槽，所述電極板卡槽的左右兩側(cè)分別設(shè)置有第一隔板和第二隔板，所述第一隔板與所述卡片器本體之間形成第一玻璃板卡槽，所述第二隔板與所述卡片器本體之間形成第二玻璃板卡槽。本實用新型可以防止太陽能玻璃板和PECVD工件架的電極板摩擦，防止玻璃基板的受光面和膜面被劃傷，降低外觀、針孔等質(zhì)量問題，同時可以節(jié)約生產(chǎn)人員的工作時間和技術(shù)人員因為外觀和質(zhì)量的問題而分析原因的時間。