PECVD沉積爐腔體接地裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201420568886.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN204144458U 公開(kāi)（公告）日 2015-02-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN204144458U 申請(qǐng)公布日 2015-02-04
分類(lèi)號(hào) H01R4/66(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 王建強(qiáng);楊曉東;樊正海;汪濤 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 四川漢能光伏有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天奇智新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 四川漢能光伏有限公司
地址 610200 四川省成都市雙流縣西航港街道長(zhǎng)城路一段二號(hào)創(chuàng)業(yè)中心大廈101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種PECVD沉積爐腔體接地裝置，包括底板和兩個(gè)側(cè)板，所述底板通過(guò)多個(gè)緊固件與所述沉積爐的接地線固定連接，兩個(gè)所述側(cè)板的第一端分別與所述底板的兩條平行邊緣固定連接，兩個(gè)所述側(cè)板的第二端相互靠近。本實(shí)用新型PECVD沉積爐腔體接地裝置通過(guò)直接將接地銅片插入兩側(cè)板之間完成接地操作，操作方便，且制作成本低，既能達(dá)到良好的接地效果，又減少了該生產(chǎn)環(huán)節(jié)的生產(chǎn)時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率，有效降低了生產(chǎn)員工在高溫下操作的潛在傷害。