電子產(chǎn)品的加工方法及加工裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110078575.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112908878A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112908878A 申請公布日 2021-06-04
分類號 H01L21/66;H01L21/48 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王亞偉;許建勇 申請（專利權(quán)）人 江西慧光微電子有限公司
代理機構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 代理人 熊永強
地址 330096 江西省南昌市南昌高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)天祥北大道1404號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┮环N電子產(chǎn)品的加工方法及加工裝置，加工方法包括采用第一加工條件將第一電子產(chǎn)品加工為第一參考產(chǎn)品；獲取第一參考產(chǎn)品的參考圖像；根據(jù)參考圖像中第一參考產(chǎn)品的像素尺寸，獲取第一參考產(chǎn)品的實際尺寸；在第一參考產(chǎn)品的實際尺寸不滿足預(yù)設(shè)尺寸的條件下，將第一加工條件調(diào)整為第二加工條件，其中，采用第二加工條件加工第二電子產(chǎn)品形成的第二參考產(chǎn)品的實際尺寸滿足預(yù)設(shè)尺寸。本申請?zhí)峁┑募庸し椒軌驅(qū)γ總€電子產(chǎn)品的實際尺寸進行測量，并根據(jù)測量結(jié)果及時準確的調(diào)整加工條件，后續(xù)的電子產(chǎn)品在調(diào)整后的加工條件下進行加工，使得后續(xù)加工形成的電子產(chǎn)品滿足預(yù)設(shè)尺寸要求，從而有效提高電子產(chǎn)品的尺寸加工精度及生產(chǎn)良率。