一種合片工藝錯(cuò)位數(shù)據(jù)的檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122720570.6 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN215064358U 公開(公告)日 2021-12-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN215064358U 申請(qǐng)公布日 2021-12-07
分類號(hào) G01B11/02(2006.01)I;B23K37/00(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 任曙東 申請(qǐng)(專利權(quán))人 成都先進(jìn)功率半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 四川力久律師事務(wù)所 代理人 馮精恒
地址 611731四川省成都市高新西區(qū)科新路8-88號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及公開了一種合片工藝錯(cuò)位數(shù)據(jù)的檢測(cè)裝置,屬于半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域。包括:合片加工設(shè)備、PC端和至少兩個(gè)內(nèi)窺攝像頭;所述合片加工設(shè)備包括:翻轉(zhuǎn)臺(tái)和載臺(tái),所述翻轉(zhuǎn)臺(tái)的一方設(shè)置有上框架,所述內(nèi)窺攝像頭設(shè)置在所述翻轉(zhuǎn)臺(tái)上,并且與所述上框架在同一方,所述內(nèi)窺攝像頭與所述PC端通信連接,所述載臺(tái)設(shè)置在所述翻轉(zhuǎn)臺(tái)的下方,所述載臺(tái)用于放置石墨盤。實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)監(jiān)控生產(chǎn)線的生產(chǎn)數(shù)據(jù),可以發(fā)現(xiàn)不同載體之間是否存在合片數(shù)據(jù)的差異,不會(huì)造成生產(chǎn)線料片的浪費(fèi)節(jié)約了成本,可以做到每片、每時(shí)、每模監(jiān)控,在后續(xù)出現(xiàn)異常時(shí),便于調(diào)試與監(jiān)控同時(shí)進(jìn)行,若出現(xiàn)異常品,便于數(shù)據(jù)追蹤,并且便于監(jiān)控設(shè)備機(jī)臺(tái)的穩(wěn)定性。