一種芯片框架自動開門烘箱

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120092059.3 申請日 -
公開（公告）號 CN215113580U 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN215113580U 申請公布日 2021-12-10
分類號 F26B9/06（2006.01）I;F26B25/00（2006.01）I;F26B25/12（2006.01）I 分類 干燥;
發(fā)明人 陳杰;彭建;鄧海昕;許兵 申請（專利權）人 成都先進功率半導體股份有限公司
代理機構 四川力久律師事務所 代理人 范文苑
地址 611731四川省成都市高新西區(qū)科新路8-88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及半導體設備技術領域，特別是一種芯片框架自動開門烘箱，包括箱體和箱門，所述箱體與箱門通過鉸接部件相連，還包括控制系統(tǒng)，所述箱體朝向所述箱門的一面設有伸縮機構和用于鎖定所述箱門和箱體的固定裝置，所述控制系統(tǒng)能夠控制所述伸縮機構伸縮，所述控制系統(tǒng)能夠控制所述固定裝置鎖定或解鎖所述箱門。本實用新型裝置芯片框架自動開門烘箱在烘烤結束后可自動開門，加快芯片框架的冷卻速度，提高產(chǎn)品加工效率，自動化程度高，操作簡單、便捷。