一種金屬蔭罩及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201610844430.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN106350769A | 公開(kāi)（公告）日 | 2017-01-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN106350769A | 申請(qǐng)公布日 | 2017-01-25 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/04(2006.01)I;C25D1/10(2006.01)I;C25D3/12(2006.01)I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 潘仲光;陳霞玲;童圣智 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 常州友機(jī)光顯電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京太合九思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 常州友機(jī)光顯電子科技有限公司 |
| 地址 | 213031 江蘇省常州市新北區(qū)信息大道6號(hào)6棟 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明實(shí)施例提供一種金屬蔭罩及其制備方法，所述方法包括：在100?110℃下，以0.3?0.4MPa的壓力將感光膜貼覆在表面清潔平整的電鑄基板上，形成具有感光層的電鑄基板；以5?30mj/cm2的曝光量，對(duì)所述感光層的預(yù)設(shè)區(qū)域進(jìn)行曝光；將曝光后的具有感光層的電鑄基板，進(jìn)行顯影、烘焙及浸洗處理，得到電鑄陰極；使用所述電鑄陰極進(jìn)行電鑄工藝，得到具有與所述預(yù)設(shè)區(qū)域圖案匹配的金屬蔭罩。本發(fā)明實(shí)施例提供的金屬蔭罩及其制備方法，通過(guò)改變制膜的溫度和壓力增加感光膜在基板上的附著力，并通過(guò)優(yōu)化曝光強(qiáng)度，實(shí)現(xiàn)在感光膜上制出微孔開(kāi)口小至3μm的圖形，從而制作得到開(kāi)口尺寸在3?40μm的金屬蔭罩。 |
