一種陰極電弧涂層靶材裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110886258.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113403590A 公開（公告）日 2021-09-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN113403590A 申請(qǐng)公布日 2021-09-17
分類號(hào) C23C14/32（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳強(qiáng);張而耕;周瓊;黃彪;梁丹丹;張帆;孫思叡;孫國慶;李朝明 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海名古屋精密工具股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 胡晶
地址 200235上海市徐匯區(qū)漕寶路120-121號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種陰極電弧涂層靶材裝置，依次互相貼合設(shè)置有導(dǎo)電組件、第一絕緣組件、靶材板框、絕緣板、冷卻板、導(dǎo)熱板和涂層靶材；導(dǎo)電組件與冷卻板之間設(shè)有電連接組件，導(dǎo)電組件連接外部電極，并通過電連接組件、冷卻板和導(dǎo)熱板與涂層靶材電連接；導(dǎo)電組件和冷卻板分別通過第一絕緣組件和絕緣板與靶材板框絕緣；冷卻板、導(dǎo)熱板和涂層靶材的周側(cè)設(shè)有用于與靶材板框絕緣的第二絕緣組件；冷卻板靠近導(dǎo)熱板的一表面上設(shè)有流槽，流槽與導(dǎo)熱板之間形成流體通道，靶材板框和冷卻板上設(shè)有連通外部和流體通道的進(jìn)液通道和出液通道；該靶材裝置具有靶材利用率高、涂層沉積效率高、冷卻效果好、涂層成分均勻及涂層色澤度好的特點(diǎn)。