一種氮化鋁基板清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120081309.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214321028U 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN214321028U 申請公布日 2021-10-01
分類號 B08B1/04（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 馬寶東;孟飛;楊峰 申請（專利權(quán)）人 銀川艾森達(dá)新材料發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京弘權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 逯長明;許偉群
地址 750001寧夏回族自治區(qū)銀川市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)西區(qū)戰(zhàn)略新興材料加工區(qū)1號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于基板清洗裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種氮化鋁基板清洗裝置，針對了對基板清洗時無法對基板死角處得到有效的進(jìn)行清洗，基板清洗效率低且質(zhì)量差的問題，現(xiàn)提出如下方案，其包括處理箱，處理箱一側(cè)側(cè)壁固定有驅(qū)動電機(jī)，驅(qū)動電機(jī)的輸出軸固定有第一傳動桿，第一傳動桿沿水平方向貫穿處理箱，第一傳動位于處理箱外部的一端固定有第一帶輪，第一帶輪一側(cè)側(cè)壁套接有皮帶，皮帶遠(yuǎn)離第一帶輪的一端套接有第二帶輪，第二帶輪遠(yuǎn)離皮帶的一側(cè)側(cè)壁固定第二傳動桿；本實用新型中通過此設(shè)置達(dá)到了對基板進(jìn)行清洗工作時的對死角氣清洗效果更佳，在對基板進(jìn)行清洗時對基板的固定效果得到了一定的提升，更大幅度的提升了對基板清洗工作效率。