用于真空鍍膜裝置的樣品臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820452446.1 申請日 -
公開（公告）號 CN208201113U 公開（公告）日 2018-12-07
申請公布號 CN208201113U 申請公布日 2018-12-07
分類號 C23C14/50;C23C14/54;C23C14/35 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 金炯;楊林;姜瓊 申請（專利權(quán)）人 杭州賽威斯真空技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 杭州天欣專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 杭州賽威斯真空技術(shù)有限公司
地址 310052 浙江省杭州市濱江區(qū)江虹南路60號2號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種用于真空鍍膜裝置的樣品臺，包括支撐板、安裝板、升降機構(gòu)、擋板機構(gòu)、樣品放置盒、膜厚檢測儀、導(dǎo)柱、殼體、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、電極機構(gòu)、連接管道，其特征是支撐板上固定有導(dǎo)柱、升降機構(gòu)，導(dǎo)柱上滑動套裝安裝板，安裝板上固定擋板機構(gòu)、殼體、膜厚檢測儀，升降機構(gòu)與安裝板配合并驅(qū)動安裝板沿導(dǎo)柱上下升降調(diào)整相對高度；膜厚檢測儀的探頭與固定在樣品放置盒下的被加工產(chǎn)品相對高度不變；連接管道轉(zhuǎn)動安裝在安裝板上并與樣品放置盒連接，電極機構(gòu)的陽極設(shè)置在殼體上，電極機構(gòu)陰極設(shè)置在被加工產(chǎn)品上，殼體上安裝有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)用來驅(qū)動連接管道轉(zhuǎn)動并帶動樣品放置盒轉(zhuǎn)動。本申請結(jié)構(gòu)簡潔，使用方便，功能多，效果好。