一種具有可見光波段的深紫外LED器件及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010026984.6 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN111223969B 公開(公告)日 2021-07-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN111223969B 申請(qǐng)公布日 2021-07-20
分類號(hào) H01L33/06;H01L33/14;H01L33/44;H01L33/00 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張駿;袁章潔;戴江南;陳長(zhǎng)清 申請(qǐng)(專利權(quán))人 武漢深紫科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢智嘉聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 易賢衛(wèi)
地址 430000 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)東信路數(shù)碼港(光谷創(chuàng)業(yè)街73號(hào))E幢一層E1236室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有可見光波段的深紫外LED器件及其制備方法,所述具有可見光波段的深紫外LED器件由下至上依次設(shè)置有藍(lán)寶石襯底、AlN本征層、n型AlGaN層、電流擴(kuò)展層、深紫外波段量子阱有源層、可見波段量子阱有源層、電子阻擋層、p型AlGaN注入層、p型GaN接觸層、DBR層、p電極以及n電極。本發(fā)明通過(guò)在外延結(jié)構(gòu)中單片集成基于AlGaN材料的深紫外波段量子阱與基于InGaN材料的可見光波段的量子阱,從而真正實(shí)現(xiàn)單顆器件既有深紫外波段發(fā)光又有可見光波段發(fā)光,并簡(jiǎn)化了雙色燈珠器件的制作工序,降低了雙色燈珠器件制作成本。