一種多元層狀加硬涂層生長工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011329138.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112458417A 公開（公告）日 2021-03-09
申請公布號 CN112458417A 申請公布日 2021-03-09
分類號 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 彭長明 申請（專利權）人 創(chuàng)隆實業(yè)（深圳）有限公司
代理機構 北京權智天下知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 王新愛
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)沙井街道共和第三工業(yè)區(qū)F區(qū)2棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于PVD磁控濺射技術領域，公開了一種多元層狀加硬涂層生長工藝。本發(fā)明的多元層狀加硬涂層生長工藝包括以下步驟：(1)將基材在自動化清洗線上完成液態(tài)清洗；(2)將基材放置于磁控濺射鍍膜機內預抽真空；(3)在磁控濺射鍍膜機內進行輝光清洗；(4)在磁控濺射鍍膜機內進行膜層沉積，所述膜層沉積中包括沉積致硬層，致硬層的沉積中使用三種或三種以上靶材，獲得三元或三元以上金屬的碳化物或氮化物為單層結構堆疊形成的多層結構；(5)冷卻出爐。該工藝通過在沉積膜層過程中依次呈層狀沉積不同材料的氮化物或碳化物，形成不同材料的層狀堆疊，達到致硬效果并抑制表面形貌粗化生長，在基材表面形成兼具防護及裝飾作用的涂層。??