一種大功率磁控濺射靶PVD炫綠色涂層及其制備方法和應(yīng)用
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011329152.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112442671A | 公開（公告）日 | 2021-03-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112442671A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-05 |
| 分類號(hào) | C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/10(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 彭長(zhǎng)明 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 創(chuàng)隆實(shí)業(yè)（深圳）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京權(quán)智天下知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 王新愛 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市寶安區(qū)沙井街道共和第三工業(yè)區(qū)F區(qū)2棟 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明屬于PVD濺射技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種大功率磁控濺射靶PVD炫綠色涂層及其制備方法和應(yīng)用。本發(fā)明的大功率磁控濺射靶PVD炫綠色涂層是由鈦硅底層和氧化鈦+氧化硅的復(fù)合涂層構(gòu)成，所述復(fù)合涂層是由n個(gè)氧化鈦+氧化硅涂層組成，n為大于或等于1的整數(shù)，所述大功率是指的80A大功率，該炫綠色涂層是通過大功率磁控濺射靶獲得，可以疊加復(fù)合，涂層顏色穩(wěn)定，更亮更鮮艷，顏色層更厚更致密，耐磨性能良好，便于大批量生產(chǎn)。?? |
