一種大功率磁控濺射靶PVD炫紫色涂層及其制備方法和應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011327091.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112442670A 公開（公告）日 2021-03-05
申請公布號 CN112442670A 申請公布日 2021-03-05
分類號 C23C14/18(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 彭長明 申請（專利權(quán)）人 創(chuàng)隆實(shí)業(yè)（深圳）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京權(quán)智天下知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王新愛
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)沙井街道共和第三工業(yè)區(qū)F區(qū)2棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于PVD濺射技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種大功率磁控濺射靶PVD炫紫色涂層及其制備方法和應(yīng)用。本發(fā)明的大功率磁控濺射靶PVD炫紫色涂層是由鈦硅底層和TiSiN+TiNO+SiNO的復(fù)合涂層構(gòu)成，所述復(fù)合涂層是由n個(gè)TiSiN+TiNO+SiNO涂層組成，n為大于或等于1的整數(shù)，所述大功率是指的80A大功率，該炫紫色涂層是通過大功率磁控濺射靶獲得，可以疊加復(fù)合，涂層顏色層更厚更致密，耐磨性能良好，顏色穩(wěn)定，便于大批量生產(chǎn)。??