感光性樹脂組合物及層合體

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200610094231.9 申請日 -
公開（公告）號 CN1892424B 公開（公告）日 2010-04-14
申請公布號 CN1892424B 申請公布日 2010-04-14
分類號 G03F7/004(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 五十嵐勉;山下英俊 申請（專利權(quán)）人 旭化成電子材料（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市中咨律師事務(wù)所 代理人 段承恩;田欣
地址 日本東京都
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的感光性樹脂組合物及感光性樹脂層合體的顯影液分散穩(wěn)定性優(yōu)異、不產(chǎn)生凝聚物、顯影后的解像性及粘合性良好，可提供具有蓋孔性和良好的耐蝕刻液性的感光性樹脂層合體。本發(fā)明提供了含有(a)可溶于堿的高分子、(b)特定的的光聚合性不飽和化合物、(c)光聚合引發(fā)劑的感光性樹脂組合物及用其形成的感光性樹脂層合物。