一種基片架翻轉(zhuǎn)靈活的鍍膜機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720290604.3 申請日 -
公開（公告）號 CN206538470U 公開（公告）日 2017-10-03
申請公布號 CN206538470U 申請公布日 2017-10-03
分類號 C23C14/50(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 崔海波;李劍輝;張堅 申請（專利權(quán)）人 成都南光機器有限公司
代理機構(gòu) 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 成都南光機器有限公司
地址 610000 四川省成都市龍泉驛區(qū)星光西路115號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型記載了一種基片架翻轉(zhuǎn)靈活的鍍膜機，包括機架，機架內(nèi)設(shè)置有真空室，真空室上罩設(shè)有鐘罩，真空室的上方轉(zhuǎn)動設(shè)置有轉(zhuǎn)臺，轉(zhuǎn)臺的臺邊均勻設(shè)置有多個支板，支板的背面設(shè)置有星輪，星輪上連接有星輪軸，星輪軸穿過支板的一端連接有夾架；所述機架上設(shè)置有氣缸以及與氣缸活塞桿連接的撥桿，撥桿作用在星輪相鄰的兩個輪齒間。將待鍍膜的基片卡設(shè)在夾架上，真空室內(nèi)被加熱的靶材蒸發(fā)后沉降在基片表面，此時撥桿處于收回狀態(tài)，不會導(dǎo)致夾架翻轉(zhuǎn)。待基片的第一面鍍膜完成后，氣缸將啟動撥桿使之伸長作用在星輪的相鄰兩個輪齒間，星輪在轉(zhuǎn)臺的帶動下將往前移動，由于撥桿的位置固定，星輪將實現(xiàn)翻轉(zhuǎn)，本實用新型的翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、翻轉(zhuǎn)靈活。