一種對(duì)聚酰亞胺襯底的兩面進(jìn)行鍍制的濺射裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720290190.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN206599603U 公開（公告）日 2017-10-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN206599603U 申請(qǐng)公布日 2017-10-31
分類號(hào) C23C14/20(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 董鳳林;崔海波;李劍輝;張堅(jiān) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 成都南光機(jī)器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都弘毅天承知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 成都南光機(jī)器有限公司
地址 610000 四川省成都市龍泉驛區(qū)星光西路115號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型記載了一種對(duì)聚酰亞胺襯底的兩面進(jìn)行鍍制的濺射裝置，包括真空室，真空室內(nèi)設(shè)置有對(duì)聚酰亞胺襯底進(jìn)行輸送的傳送設(shè)備，傳送設(shè)備的一側(cè)設(shè)置有對(duì)聚酰亞胺襯底的背面進(jìn)行濺射的濺射機(jī)構(gòu)A，傳送設(shè)備的另一側(cè)設(shè)置有對(duì)聚酰亞胺襯底正面進(jìn)行濺射的濺射機(jī)構(gòu)B。本實(shí)用新型新增了對(duì)聚酰亞胺襯底背面進(jìn)行濺射的濺射機(jī)構(gòu)A，對(duì)聚酰亞胺襯底的背面事先預(yù)鍍一層耐磨材料，提前通過背面濺射鍍膜方式加入背面預(yù)應(yīng)力，通過后續(xù)的濺射機(jī)構(gòu)B對(duì)聚酰亞胺襯底的正面進(jìn)行磁控濺射鍍膜后來實(shí)現(xiàn)應(yīng)力的平衡，避免出現(xiàn)應(yīng)力釋放造成薄膜損壞的現(xiàn)象發(fā)生。于此同時(shí)，也將聚酰亞胺襯底應(yīng)力變形減少到了最小，提高了成膜的平整度。