一種晶圓清洗工藝任務(wù)排列方法及裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110557733.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113299587A | 公開（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113299587A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-24 |
| 分類號(hào) | H01L21/677（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 錢誠;李剛;童建 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫亞電智能裝備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京商專潤文專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 陳平 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道111-12號(hào)國家軟件園鯨魚座C403 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)涉及一種晶圓清洗工藝在線任務(wù)排列方法及裝置，根據(jù)待進(jìn)入晶圓清洗系統(tǒng)的該批晶圓的清洗工藝信息，預(yù)估各個(gè)清洗槽、及入料工位、在各清洗槽之間傳輸和出料工位所需占用的時(shí)間段；將預(yù)估的時(shí)間段與已進(jìn)入晶圓清洗系統(tǒng)的所有批次的晶圓所占用的時(shí)間段進(jìn)行比較，最終得到進(jìn)入時(shí)間，防止晶圓清洗時(shí)不同批次的晶圓發(fā)生沖突，節(jié)省了晶圓清洗系統(tǒng)總的工作時(shí)間，提高清洗效率。 |
