一種半導(dǎo)體晶圓晶清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110333321.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113257730A 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN113257730A 申請公布日 2021-08-13
分類號 H01L21/677;H01L21/02;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 錢誠;李剛;吳清 申請（專利權(quán)）人 無錫亞電智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京商專潤文專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳平
地址 214000 江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道111-12號國家軟件園鯨魚座C403
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體晶圓晶清洗裝置，包括支撐機(jī)構(gòu)、伸縮固定機(jī)構(gòu)、滑動配合機(jī)構(gòu)、側(cè)邊固定機(jī)構(gòu)，所述支撐機(jī)構(gòu)內(nèi)側(cè)設(shè)置有所述滑動配合機(jī)構(gòu)，所述滑動配合機(jī)構(gòu)兩側(cè)設(shè)置有所述側(cè)邊固定機(jī)構(gòu)，所述側(cè)邊固定機(jī)構(gòu)內(nèi)側(cè)連接有清洗籃機(jī)構(gòu)，所述滑動配合機(jī)構(gòu)前端安裝有所述伸縮固定機(jī)構(gòu)。本發(fā)明利用滑動配合機(jī)構(gòu)和清洗籃機(jī)構(gòu)配合，能夠快速配合連接配合閥和配合接頭，從而利用清洗籃機(jī)構(gòu)對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行清洗，利用側(cè)邊固定機(jī)構(gòu)配合清洗籃機(jī)構(gòu)，從而在對清洗籃機(jī)構(gòu)進(jìn)行放置時保證穩(wěn)定性，而后利用滑動配合機(jī)構(gòu)與清洗籃機(jī)構(gòu)連接時提供橫向支撐力。