一種分架式晶圓清洗設(shè)備用內(nèi)部晶圓輔助翻滾機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022189499.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213670789U 公開(kāi)（公告）日 2021-07-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN213670789U 申請(qǐng)公布日 2021-07-13
分類號(hào) B08B3/06（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 錢誠(chéng);童建;吳清 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫亞電智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 214000江蘇省無(wú)錫市無(wú)錫新吳區(qū)無(wú)錫中關(guān)村軟件園30號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種分架式晶圓清洗設(shè)備用內(nèi)部晶圓輔助翻滾機(jī)構(gòu)，包括箱體、框架和清洗池，所述箱體的內(nèi)部中間固定安裝有清洗池，清洗池的內(nèi)部頂端設(shè)有滾筒，滾筒的表面轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有擋板，滾筒的兩端固定安裝安裝有軸桿，軸桿轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在框架的內(nèi)部，所述框架的頂端一側(cè)固定安裝有第一馬達(dá)，第一馬達(dá)的輸出端通過(guò)皮帶轉(zhuǎn)動(dòng)連接軸桿，所述框架的頂端中間固定連接在液壓缸的輸出端，且液壓缸固定安裝在箱體的外部頂端。本實(shí)用新型利用液壓缸升起或者降下滾筒，將裝有晶圓的滾筒在清洗池內(nèi)進(jìn)行進(jìn)出，而滾筒可由馬達(dá)轉(zhuǎn)動(dòng)，這樣可讓滾筒內(nèi)部的晶圓能清洗多面，在滾筒升起后由一側(cè)的風(fēng)扇對(duì)其進(jìn)行吹風(fēng)，使其快速風(fēng)干，從而達(dá)到了便于工作人員使用的效果。